Jeffrey Hopwood

צוטט על ידי

	הכל	מאז 2020
ציטוטים ביבליוגרפיים	7500	1182
H-index	42	17
i10-index	93	34

360

180

270

1991199219931994199519961997199819992000200120022003200420052006200720082009201020112012201320142015201620172018201920202021202220232024202526 34 39 79 141 153 145 179 234 301 209 235 214 217 194 243 292 268 207 267 233 252 234 260 275 348 354 313 316 268 238 240 215 181 40

גישה ציבורית

הצג הכל

21 מאמרים

2 מאמרים

זמין

לא זמין

על סמך ייפוי כח מהמממנים

מחברים משותפים

Felipe IzaLoughborough Universityכתובת אימייל מאומתת בדומיין lboro.ac.uk
Jes AsmussenProfessorכתובת אימייל מאומתת בדומיין egr.msu.edu
Stephen ParsonsRiverside Researchכתובת אימייל מאומתת בדומיין riversideresearch.org
Stephen RossnagelUVA Dept Mat. Sci.כתובת אימייל מאומתת בדומיין virginia.edu
J. XueApplied Materials Inc.כתובת אימייל מאומתת בדומיין amat.com
Sameer SonkusaleTufts University, Electrical and Computer, Biomedical, Chemical and Biological Engineeringכתובת אימייל מאומתת בדומיין ece.tufts.edu
Pramod Singh[email protected]כתובת אימייל מאומתת בדומיין eecs.tufts.edu
Michael HeavenProfessor of Chemistry, Emory Universityכתובת אימייל מאומתת בדומיין emory.edu
Michael LanaganPenn State Universityכתובת אימייל מאומתת בדומיין psu.edu
Shabnam MonfaredSmiths Detectionכתובת אימייל מאומתת בדומיין wesleyan.edu
José L. LópezProfessor of Physics, Seton Hall Universityכתובת אימייל מאומתת בדומיין shu.edu
Agasanapur, BasavarajuProcess Engineer, Intel Corporationכתובת אימייל מאומתת בדומיין intel.com
Mehmet Remzi DokmeciAssociate Professor, Terasaki Institute for Biomedical Innovationכתובת אימייל מאומתת בדומיין terasaki.org
David R. KaeliDistinguished Professor of ECE, Northeastern Universityכתובת אימייל מאומתת בדומיין ece.neu.edu
Timothy A, GrotjohnProfessor of Electrical and Computer Engineering, Michigan State Universityכתובת אימייל מאומתת בדומיין egr.msu.edu
Mak Peng UnUniversity of Macauכתובת אימייל מאומתת בדומיין umac.mo
Alan HoskinsonPhysical Sciences Inc.
Dr. Pradeep Kumar SinghM M M University of Technology, Gorakhpurכתובת אימייל מאומתת בדומיין mmmut.ac.in
José Gregório

עקוב אחר

Jeffrey Hopwood

Professor of Electrical and Computer Engineering, Tufts University

כתובת אימייל מאומתת בדומיין ece.tufts.edu - דף הבית

Plasma Science Plasma Processing Plasma Semiconductor Processing Microplasma


כותרת מיון לפי ציטוט ביבליוגרפי מיון לפי שנה מיון לפי כותרת	צוטט על ידי צוטט על ידי	שנה
Review of inductively coupled plasmas for plasma processing‏ J Hopwood‏ Plasma Sources Science and Technology 1 (2), 109, 1992‏	1028	1992
Metal ion deposition from ionized mangetron sputtering discharge‏ SM Rossnagel, J Hopwood‏ Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer …, 1994‏	505	1994
Langmuir probe measurements of a radio frequency induction plasma‏ J Hopwood, CR Guarnieri, SJ Whitehair, JJ Cuomo‏ Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films 11 (1 …, 1993‏	414	1993
Magnetron sputter deposition with high levels of metal ionization‏ SM Rossnagel, J Hopwood‏ Applied physics letters 63 (24), 3285-3287, 1993‏	389	1993
Electromagnetic fields in a radio‐frequency induction plasma‏ J Hopwood, CR Guarnieri, SJ Whitehair, JJ Cuomo‏ Journal Of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films 11 (1 …, 1993‏	244	1993
Mechanisms for highly ionized magnetron sputtering‏ J Hopwood, F Qian‏ Journal of Applied Physics 78 (2), 758-765, 1995‏	210	1995
Low-power microwave plasma source based on a microstrip split-ring resonator‏ F Iza, JA Hopwood‏ IEEE transactions on plasma science 31 (4), 782-787, 2003‏	203	2003
Radio frequency induction plasma processing system utilizing a uniform field coil‏ JJ Cuomo, CR Guarnieri, JA Hopwood, SJ Whitehair‏ US Patent 5,280,154, 1994‏	199	1994
Ionized physical vapor deposition of integrated circuit interconnects‏ J Hopwood‏ Physics of Plasmas 5 (5), 1624-1631, 1998‏	187	1998
Split-ring resonator microplasma: microwave model, plasma impedance and power efficiency‏ F Iza, J Hopwood‏ Plasma Sources Science and Technology 14 (2), 397, 2005‏	180	2005
Miniaturization of inductively coupled plasma sources‏ Y Yin, J Messier, JA Hopwood‏ IEEE Transactions on plasma science 27 (5), 1516-1524, 1999‏	165	1999
Ion bombardment energy distributions in a radio frequency induction plasma‏ J Hopwood‏ Applied physics letters 62 (9), 940-942, 1993‏	161	1993
Ionized physical vapor deposition‏ J Hopwood, A Wendt, S Rossnagel, W Holber, KF Lai, J Forster, ...‏ Academic Press 27, 253, 1999‏	154*	1999
A microfabricated inductively coupled plasma generator‏ JA Hopwood‏ Journal of Microelectromechanical Systems 9 (3), 309-313, 2000‏	143	2000
Rotational, vibrational, and excitation temperatures of a microwave-frequency microplasma‏ F Iza, JA Hopwood‏ IEEE transactions on plasma science 32 (2), 498-504, 2004‏	131	2004
Planar RF induction plasma coupling efficiency‏ J Hopwood‏ Plasma Sources Science and Technology 3 (4), 460, 1994‏	114	1994
Charged particle densities and energy distributions in a multipolar electron cyclotron resonant plasma etching source‏ J Hopwood, DK Reinhard, J Asmussen‏ Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films 8 (4 …, 1990‏	111	1990
A microfabricated atmospheric-pressure microplasma source operating in air‏ J Hopwood, F Iza, S Coy, DB Fenner‏ Journal of Physics D: Applied Physics 38 (11), 1698, 2005‏	108	2005
Optically pumped microplasma rare gas laser‏ WT Rawlins, KL Galbally-Kinney, SJ Davis, AR Hoskinson, JA Hopwood, ...‏ Optics express 23 (4), 4804-4813, 2015‏	103	2015
Microplasmas ignited and sustained by microwaves‏ J Hopwood, AR Hoskinson, J Gregório‏ Plasma Sources Science and Technology 23 (6), 064002, 2014‏	91	2014

המערכת אינה יכולה לבצע את הפעולה כעת. נסה שוב מאוחר יותר.

מאמרים 1–20

ציטוטים ביבליוגרפיים בשנה

ציטוטים ביביליוגרפיים כפולים

ציטוטים ביביליוגרפיים שמוזגו

הוסף מחברים שותפיםמחברים משותפים

עקוב אחר

צוטט על ידי

מחברים משותפים