[PDF][PDF] MEMS 惯性传感器研究现状与发展趋势

**晓阳, 王伟魁, 汪守利, 彭泳卿, 金小锋 - 遥测遥控, 2019 - sensor360.org
基于MEMS (Micro-Electro-Mechanical System) 技术的惯性传感器具有重量轻, 成本低,
体积小等优点, 在民用, 航天及军事领域有着极其广阔的应用和发展前景. 伴随着MEMS …

[PDF][PDF] 集成化光纤陀螺用高宽深比氮化硅光引擎芯片

**佳龙, 牛亚楠, 冯昌坤, 姜腾蛟, **淑娴… - Laser & …, 2024 - researching.cn
摘要针对惯性导航系统对光纤陀螺小型化和低成本的迫切需求, 提出并设计了一种基于高宽深比
氮化硅波导的集成化光纤陀螺用光引擎芯片. 该芯片可兼具光源耦合, 分束 …