Синтез оптимального регулятора с предсказанием для процесса выращивания объемных Cz-Si монокристаллов

ВР Петренко - Сложные системы и процессы, 2008 - elibrary.ru
Анализ существующего промышленного процесса выращивания объемных Cz-Si-
монокристаллов позволяет определить пути повышения его эффективности за счет …

[PDF][PDF] МЕТОДЫ, МОДЕЛИ И ИНФОРМАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ МОНИТОРИНГА И ОПТИМИЗАЦИИ ПРОЦЕССА ВЫРАЩИВАНИ% МОНОКРИСТАЛЛОВ …

ИВ Шевченко - 2015 - nure.ua
Актуальность работы. Развитие интеллектуальных технологий извлечения и
обработки информации достигло уровня, который позволяет значительно повысить …

Модели и информационные технологии мониторинга и оптимизации процесса выращивания монокристаллов полупроводников

ВМ Левыкин, ИВ Шевченко, ИГ Оксанич - 2014 - openarchive.nure.ua
Анотація The monograph is the development of methods, models and information
technologies for monitoring and optimization of thermal parameters of the process of …

Архитектура и функциональность двухуровневой АСУТП выращивания слитков кремния

АП Оксанич, ВР Петренко, СЭ Притчин - Сложные системы и …, 2005 - elibrary.ru
Рассмотрены вопросы управления процессом выращивания слитков кремния
диаметром до 200 мм. Представлена архитектура двухуровневой системы управления …

Особливості технології вирощування монокристалів кремнію

ВС Дудка - 2020 - dspace.znu.edu.ua
UA: Проведено аналіз методів вирощування монокристалів кремнію та оцінено
структуру та зріст монокристалів по методу Чохральського. Виконана оцінка …

[PDF][PDF] Автоматизированный контроль технологических параметров выращивания слитков монокристалов кремния

ВІ Міхальчук, ОВ Вашерук, ОП Міхальчук - Нові технології, 2013 - irbis-nbuv.gov.ua
Важной задачей технологии полупроводниковых материалов является выращивание
совершенных монокристаллов кремния требуемого диаметра с определенной …