基于可重入加工组合设备的建模与调度研究
潘春荣， 黎良 - 系统仿真学报, 2016 - china-simulation.com
晶圆加工中越来越广泛地采用可重构的自动化组合设备, 其单晶圆加工技术提高了晶圆制造的
生产效率和加工质量. 介绍了组合设备的结构特征及其加工过程运行的约束条件 …
生产效率和加工质量. 介绍了组合设备的结构特征及其加工过程运行的约束条件 …
面向单臂组合设备中紧急订单的调度
**金成， 潘春荣 - 信息与控制, 2023 - xk.sia.cn
随着晶圆制造模式向多品种, 小批量的转变, 在实际生产过程中频繁出现紧急订单插入的情况,
不合理的调度策略将降低组合设备生产效率. 为了提高组合设备的生产柔性 …
不合理的调度策略将降低组合设备生产效率. 为了提高组合设备的生产柔性 …
Research on Modeling and Scheduling of Cluster Tools with Reentrant Process
C Pan, L Liang - Journal of System Simulation, 2020 - dc-china-simulation …
Cluster tools reconfigured are increasingly adopted in wafer fabrication. With single-wafer
processing technology, the productivity and quality of semiconductor manufacturing have …
processing technology, the productivity and quality of semiconductor manufacturing have …
[CYTOWANIE][C] 晶圆重入加工的组合设备终止暂态的调度与分析
潘春荣， 黎良 - 控制理论与应用, 2015